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等離子清洗機(jī)常用頻率區(qū)別與運(yùn)用

發(fā)表時(shí)間:2021-08-18      點(diǎn)擊次數(shù):147

離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

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目前常用等離子體激發(fā)頻率有40kHz、13.56MHz2.45GHz三種。

40kHz、13.56MHz2.45GHz等離子體激發(fā)頻率區(qū)別

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體,發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng);

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng);

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體,其發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

40kHz13.56MHz2.45GHz等離子體激發(fā)頻率運(yùn)用

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體超聲等離子體清洗以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗,也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),清潔表面不會(huì)留下氧化物,可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性超聲等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響較大,因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果較為理想典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗。氬氣本身是惰性氣體,等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng),而是通過(guò)離子轟擊使表面清潔。

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體微波等離子體典型的等離子體化學(xué)清洗工藝,是氧氣等離子體清洗。通過(guò)等離子體產(chǎn)生的氧自由基非?;顫?,容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物,從而去除表面的污染物。主要用于科研方面及實(shí)驗(yàn)室。

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用,即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕,兩種清洗可以互相促進(jìn),離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài),容易吸收反應(yīng)劑,離子碰撞使被清洗物加熱,使之更容易產(chǎn)生反應(yīng);

目前美國(guó)CIF公司所主要生產(chǎn)激發(fā)頻率為40kHz13.56MHz等離子清洗機(jī),了解更多產(chǎn)品信息請(qǐng)參閱CIF官方網(wǎng)站:www.940199.com

 

 


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